研磨前檢查高真空不銹鋼隔膜閥的密封面。 深度小于0.05mm時(shí)，可通過(guò)打磨消除缺陷（沖擊、壓傷、刀痕、不平整、凹痕等）； 當(dāng)深度大于0.05mm時(shí)，應(yīng)先在車床上加工，然后再打磨（無(wú)論如何，不得使用銼刀或砂紙進(jìn)行修補(bǔ)）。 當(dāng)缺陷深度大于0.2mm時(shí)，應(yīng)更換新的密封圈或堆焊層，然后打磨。

  當(dāng)密封面的缺陷不明顯時(shí)，可通過(guò)以下方法檢查密封面的平整度：先用布擦拭密封面，然后用軟鉛筆標(biāo)記輻射或同心圓 通過(guò)中高真空不銹鋼隔膜閥芯。 然后用校準(zhǔn)板檢查校準(zhǔn)情況，將校準(zhǔn)板放在密封面上，輕輕按壓旋轉(zhuǎn)2～3圈，然后取下檢查密封面。 如果畫出來(lái)的鉛筆線都被印版擦掉了，說(shuō)明封口面是平整的：如果封口面不平整，會(huì)留下一部分鉛筆線。 密封面的平整度也可以通過(guò)噴漆來(lái)檢查。

  為了快速研磨，有時(shí)可以預(yù)先進(jìn)行粗研磨。 粗磨可使用大粒徑320粉（粒徑42~28um）； 細(xì)磨可使用小粒徑M28/M114細(xì)粉（粒徑28~10um），特別高精度可使用M7細(xì)粉（粒徑7~5um）。